1. 용도
: 반도체 Testing에 사용되는 Socket의 신뢰성 및 Outgoing Test에 사용.
2. 주요사양
Footprint (W*D*H)
| 1,000mm x 600mm x 1,540mm |
PMU | VSIM / ISVM / VM / VSVM Current : -1.0A ~ 1.0A Voltage : -8V ~ 8V Resistance measure : 0~8k Ω / ±1.3mΩ |
Weight Measure | Range 0 ~ 30kg / Resolution 5g |
Z-Axis Motor | Move Resolution 1um Move Speed 10mm/sec.
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